高精度金剛石晶圓劃片機MR 200 系統(tǒng)軟件的設置和硬件的配置能夠實現(xiàn)高精度的劃線，從而實現(xiàn)對結構化硅片的精準切割。MR 200 是一款非常有力的工具，尤其在半導體技術的 SEM 樣品制備過程中極為重要。此外，MR 200 也適用于小批量芯片的切割分離，例如在實驗室應用中。

高精度金剛石晶圓劃片機的機械基礎裝置提供了眾多可用于調整劃線參數(shù)的選項。高品質的變焦光學系統(tǒng)可實現(xiàn)從 8 倍到 40 倍放大倍率的連續(xù)無級調節(jié)。光學和機械組件可以通過輔助模塊進行擴展，從而提升操作效率及人機交互舒適性。這樣的模塊包括攝像系統(tǒng)、圖像處理系統(tǒng)以及工作臺位移測量系統(tǒng)。

攝像系統(tǒng)：

這款高品質的變焦顯微鏡能夠在標本表面的概覽圖和細節(jié)圖之間實現(xiàn)無級切換。通過 x/y 載物臺的微調，可以對標本進行高精度定位。劃線金剛石的起始點及工作角度是可以調整的，目鏡十字線用于標記起始點。視頻系統(tǒng)可選配，配置此功能后，晶圓表面情況可以在PC的顯示器上進行實時觀察。

圖像處理系統(tǒng)：

高品質的變焦光學系統(tǒng)可實現(xiàn)從 8 倍到 40 倍放大倍率的連續(xù)無級調節(jié)。

工作臺位移測量系統(tǒng)：

數(shù)字式位移測量裝置，適用于工作臺定位檢測，量程規(guī)格為100mm/200mm。測量儀可實現(xiàn)晶圓臺在與劃片方向垂直方向上的高精度定位，其主要目的之一是精確地劃出網(wǎng)格。

數(shù)字式位移測量裝置，適用于工作臺定位檢測，量程規(guī)格為100mm

數(shù)字式位移測量裝置，適用于工作臺定位檢測，量程規(guī)格為200mm

技術參數(shù)：

光學系統(tǒng)：

高品質的變焦光學系統(tǒng)可以實現(xiàn)從8倍到40倍放大倍率的無級調節(jié)，該顯微鏡有很多配件可供選擇，以實現(xiàn)更多功能。

可選配件：

1、數(shù)字式位移測量儀：100mm/200mm

測量儀可實現(xiàn)晶圓臺在與劃片方向垂直方向上的高精度定位，其主要目的之一是精確地劃出網(wǎng)格。

2、相機適配升級套件

CCD攝像機的升級套件包括相應的顯微鏡組件。另外，還需要攝像機、顯示器或帶圖像處理軟件的電腦。客戶可以選擇自定義方案，或使用OEG提供的攝像機、電腦及軟件。

3、彩色視頻系統(tǒng)

該選配包含一臺130萬像素的彩色相機、一臺一體機電腦及圖像處理軟件，該軟件可將相機圖像顯示在屏幕上并支持保存圖像。

4、線寬測量

這款擴展的圖像處理軟件可實現(xiàn)亞像素分辨率的高精度線寬測量。

精準切割，操作方便：

將基片固定在卡盤上后，將顯微鏡對準晶圓。通過手動驅動工作臺沿X軸和Y軸移動，可以將劃線調整到樣品上的參考標記或結構。高質量的變焦顯微鏡能夠快速在樣品的概率圖和細節(jié)圖之間切換查看。通過X/Y工作臺微調，可以非常精準地定位晶圓。劃線金剛石的接觸點可以通過目鏡或者顯示屏上的十字線來調整，并由腳踏開關控制升降，雙手可同時操作劃線運動。確定劃線位置后，用腳踏開關放下金剛石，手動移動卡盤，完成劃線。